快中子辐照直拉硅中氧沉淀及诱生缺陷研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议.pdf

4 0
2026-1-11 17:34 | 查看全部 阅读模式

会议论文《快中子辐照直拉硅中氧沉淀及诱生缺陷研究》探讨了快中子辐照对直拉硅(CZ-Si)中氧沉淀和缺陷形成的影响。研究通过实验分析了辐照后硅片的微观结构变化,揭示了氧沉淀的生长机制及其与缺陷的相互作用。该成果对提高半导体器件的辐射稳定性具有重要意义,为硅材料在核能和空间应用中的性能优化提供了理论支持。

文档为pdf格式,0.81MB,总共6页。

快中子辐照直拉硅中氧沉淀及诱生缺陷研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
文件大小:
829.44 KB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1