会议论文《廉价衬底上PECVD法制备非晶硅薄膜的工艺研究》探讨了在低成本衬底上利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术制备非晶硅薄膜的可行性。研究分析了工艺参数对薄膜性能的影响，旨在降低生产成本并提高材料质量，为光伏和半导体器件的广泛应用提供技术支持。
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