微型及超微型压力传感器的开发 - 2009年全国压力计量测试技术交流年会.pdf

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2026-1-11 17:32 | 查看全部 阅读模式

会议论文《微型及超微型压力传感器的开发》发表于2009年全国压力计量测试技术交流年会。该文介绍了微型和超微型压力传感器的研究进展,重点探讨了其结构设计、材料选择及制造工艺。作者通过实验验证了传感器的性能,包括灵敏度、精度和稳定性,为微电子与传感技术的发展提供了重要参考。

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微型及超微型压力传感器的开发 - 2009年全国压力计量测试技术交流年会
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