会议论文《射频等离子气相沉积法(RF-PECVD)制备碳纳米墙工艺研究》发表于第八届中国纳米科技西安研讨会。该文系统研究了采用RF-PECVD方法制备碳纳米墙的工艺参数,包括气体配比、功率、温度等对产物形貌和结构的影响,为碳纳米墙的可控合成提供了理论依据和技术支持。
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