会议论文《复合钝化多晶硅纳米膜应力分布仿真分析》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议。该文通过仿真方法研究了复合钝化多晶硅纳米膜中的应力分布特性，旨在优化薄膜结构设计，提高传感器性能与稳定性。研究对微电子器件的可靠性分析具有重要意义。
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