会议论文《基于硅衬底氮化镓材料的MEMS微结构加工工艺》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文探讨了在硅衬底上利用氮化镓材料进行MEMS微结构加工的关键技术，包括薄膜生长、刻蚀及集成工艺。研究旨在提高器件性能与可靠性，推动氮化镓在高频、高功率电子器件中的应用发展。
文档为pdf格式，0.41MB，总共2页。
举报
