基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

会议论文《基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文研究了利用SU8光刻胶进行热压键合的TOG工艺，旨在提高玻璃与钛层之间的结合强度和可靠性。通过优化键合参数，实现了高质量的结构制造，为微电子和微机械系统提供了新的工艺方案。

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基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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