基于压阻效应的MEMS三维微力探针传感器的性能测试 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

10 0
2026-1-11 15:30 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于压阻效应的MEMS三维微力探针传感器的性能测试》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文研究了利用压阻效应设计的MEMS三维微力探针传感器,通过实验测试其灵敏度、线性度和重复性等关键性能指标,为微小力检测提供了可靠的技术支持。

文档为pdf格式,0.35MB,总共2页。

基于压阻效应的MEMS三维微力探针传感器的性能测试 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
文件大小:
358.4 KB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1