会议论文《基于压阻效应的MEMS三维微力探针传感器的性能测试》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文研究了利用压阻效应设计的MEMS三维微力探针传感器,通过实验测试其灵敏度、线性度和重复性等关键性能指标,为微小力检测提供了可靠的技术支持。
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