会议论文《基于Zeni VLG的MEMS与电路共同仿真技术研究》在中国微米纳米技术学会第十一届学术年会上发表。该研究探讨了如何利用Zeni VLG工具实现微机电系统（MEMS）与电子电路的协同仿真，提升系统设计效率与准确性。论文分析了仿真模型的构建方法及其实现路径，为MEMS器件与集成电路的集成设计提供了有效技术支持。
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