温度对MBE法制备InN外延薄膜的影响 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-11 05:13 | 查看全部 阅读模式

会议论文《温度对MBE法制备InN外延薄膜的影响》探讨了在分子束外延(MBE)过程中,不同生长温度对InN外延薄膜质量的影响。研究通过分析晶体结构、表面形貌及光电特性,揭示了温度对薄膜结晶度和缺陷密度的关键作用。结果表明,适当控制生长温度可显著提升InN薄膜的性能,为高性能光电器件的制备提供了理论依据。

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温度对MBE法制备InN外延薄膜的影响 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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