实时椭偏术及其在薄膜生长过程中的应用 - 2009年中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会.pdf

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2026-1-11 16:45 | 查看全部 阅读模式

会议论文《实时椭偏术及其在薄膜生长过程中的应用》发表于2009年中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会。该文介绍了实时椭偏术的基本原理及其在薄膜生长监测中的应用,强调了其非接触、高精度和实时性的优势。通过该技术,可以动态跟踪薄膜厚度和折射率的变化,为材料科学和微电子领域提供重要数据支持。

文档为pdf格式,0.3MB,总共5页。

实时椭偏术及其在薄膜生长过程中的应用 - 2009年中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会
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