会议论文《微电子工业中空气化学过滤器的发展》探讨了在微电子制造过程中空气化学过滤器的技术进展与应用。文章分析了过滤器在控制污染物、提高产品良率方面的重要作用，并介绍了2010年中国洁净技术论坛上关于该领域的最新研究成果与发展趋势。
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