本文介绍了基于MEMS技术的微型静电场传感器系统的设计与研制，该系统具有体积小、灵敏度高和功耗低等优点。通过优化结构设计和工艺流程，提高了传感器的性能稳定性与检测精度。该研究成果为静电场检测提供了新的解决方案，适用于工业监测、环境检测等多个领域。
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