会议论文《基于MEMS技术梁膜结合压阻式加速度计的设计》介绍了采用MEMS技术设计的一种新型压阻式加速度计。该传感器通过梁膜结构实现对加速度的敏感检测，具有高灵敏度和良好的线性度。文章详细阐述了器件的结构设计、工作原理及仿真结果，为微型化、集成化加速度计的发展提供了理论支持和技术参考。
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