本文介绍了基于PECVD SiNx绝缘层和廉价Cu电极的并五苯薄膜晶体管的研究。通过优化工艺参数，提升了器件性能，降低了成本。实验结果表明，该结构具有良好的电学特性，为低成本柔性电子器件提供了可行方案。
文档为pdf格式，0.34MB，总共4页。
举报
