会议论文《优化凸起图案的固结磨料抛光垫高效低成本加工硅片的研究》探讨了如何通过优化抛光垫上的凸起图案，提高硅片抛光效率并降低成本。研究针对固结磨料抛光垫的结构设计进行了深入分析，提出了改进方案，以增强其抛光性能和经济性。该成果对半导体制造领域的精密加工技术具有重要参考价值。
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