本文研究了碳离子注入前后硅片的微动摩擦磨损性能。通过实验对比分析，发现碳离子注入能够显著改善硅片的表面硬度和耐磨性。研究结果表明，注入后的硅片在微动摩擦条件下表现出更低的磨损率和更稳定的摩擦特性，为提高微电子器件的可靠性提供了理论依据和技术支持。
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