MOCVD生长GaN薄膜的仿真 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-11 00:33 | 查看全部 阅读模式

会议论文《MOCVD生长GaN薄膜的仿真》探讨了通过计算机模拟方法研究氮化镓(GaN)薄膜在MOCVD(金属有机化学气相沉积)过程中的生长机制。该研究为优化生长参数、提高薄膜质量提供了理论依据,对宽禁带半导体器件的开发具有重要意义。

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MOCVD生长GaN薄膜的仿真 - 第十二届全国固体薄膜会议
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