会议论文《MOCVD生长GaN薄膜的仿真》探讨了通过计算机模拟方法研究氮化镓(GaN)薄膜在MOCVD(金属有机化学气相沉积)过程中的生长机制。该研究为优化生长参数、提高薄膜质量提供了理论依据,对宽禁带半导体器件的开发具有重要意义。
文档为pdf格式,0.64MB,总共6页。
举报