LEC法生长大尺寸InP单晶 - 2010年全国半导体器件技术研讨会.pdf

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2026-1-11 00:30 | 查看全部 阅读模式

会议论文《LEC法生长大尺寸InP单晶 - 2010年全国半导体器件技术研讨会》介绍了采用液封直拉法(LEC)生长大尺寸磷化铟(InP)单晶的技术进展。文章详细阐述了生长工艺参数对晶体质量的影响,探讨了提高晶体尺寸和均匀性的方法,为高性能半导体器件的制备提供了重要参考。

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LEC法生长大尺寸InP单晶 - 2010年全国半导体器件技术研讨会
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