微米光栅加速度计的方案研究 - 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 17:38 | 查看全部阅读模式

会议论文《微米光栅加速度计的方案研究》探讨了基于微米光栅结构的新型加速度计设计与实现。文章分析了光栅结构对加速度敏感度的影响，提出了优化方案以提高测量精度和稳定性。研究结合了微机电系统（MEMS）技术与光学传感原理，为微型化、高灵敏度加速度计的发展提供了理论支持和技术路径。

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