会议论文《磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究》介绍了新型光产酸剂的合成方法及其在光刻技术中的应用。该研究通过化学合成手段制备了多种磺酸肟酯类化合物，并对其光解性能进行了系统测试。结果表明，该类物质具有良好的光敏性和较高的产酸效率，适用于高精度微电子制造领域。论文为光刻材料的开发提供了新的思路和技术支持。
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