会议论文《密封器件背压漏率检测方法》介绍了用于检测密封器件漏率的一种新方法。该方法通过测量背压变化来评估泄漏情况,提高了检测的准确性和效率。论文针对真空系统中常见的泄漏问题,提出了可行的技术方案,并在实际应用中得到了验证。该研究对提升真空设备的密封性能具有重要意义,为相关领域的技术发展提供了参考。
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