基于贝塞尔盒能量分析器规的ESD效应数值模拟研究 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 12:49 | 查看全部阅读模式

本文针对ESD效应进行数值模拟研究，提出基于贝塞尔盒能量分析器规的新型方法。通过建立数学模型和仿真分析，探讨了静电放电对真空系统的影响机制。研究结果为提高真空设备的抗静电能力提供了理论依据和技术支持，具有重要的工程应用价值。

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