去除吸附氦试验及相关标准分析 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 12:01 | 查看全部阅读模式

会议论文《去除吸附氦试验及相关标准分析》探讨了在真空技术中去除材料表面吸附氦气的方法及其测试标准。文章分析了不同材料对氦气的吸附特性，并提出了相应的去除技术，以提高检漏精度和真空系统性能。该研究对于完善真空计量标准、提升质谱分析准确性具有重要意义，是本次年会的重要成果之一。

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