不同气压下放电功率对微晶硅薄膜生长特性的影响 - 第13届中国光伏大会.pdf

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2026-1-10 11:20 | 查看全部 阅读模式

会议论文《不同气压下放电功率对微晶硅薄膜生长特性的影响》发表于第13届中国光伏大会,研究探讨了在不同气压条件下,放电功率对微晶硅薄膜生长性能的影响。通过实验分析,作者发现放电功率与气压的协同作用显著影响薄膜的结构和光电性能,为优化微晶硅薄膜制备工艺提供了理论依据和技术参考。

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不同气压下放电功率对微晶硅薄膜生长特性的影响 - 第13届中国光伏大会
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