会议论文《一种新颖的大分子硫鎓盐产酸剂及其应用》介绍了新型大分子硫鎓盐作为产酸剂的开发与应用。该研究针对光刻工艺中对高效、稳定产酸剂的需求，提出了一种具有优异热稳定性和光敏性的大分子硫鎓盐结构。通过实验验证，该产酸剂在光刻过程中表现出良好的酸释放性能和成像效果，为高精度微电子制造提供了新的材料选择。
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