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飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-10 09:28 | 查看全部阅读模式

会议论文《飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究》探讨了利用飞秒激光结合湿法刻蚀技术在石英材料中制备真三维微线圈和微传感器的可行性。该研究为微型化、高精度传感器的开发提供了新思路，具有广泛的应用前景。

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飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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传感器, 三维, 湿法, 学术会议, 线圈

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