基于白光干涉法的双波段三维形貌测试系统 - 中国仪器仪表学会2010年学术产业大会.pdf

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2026-1-11 02:59 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于白光干涉法的双波段三维形貌测试系统》介绍了利用白光干涉技术实现高精度三维形貌测量的系统设计。该系统通过双波段光源提高测量分辨率与适用范围,适用于复杂表面的精密检测。研究提出了有效的数据处理方法,提升了测量效率和准确性,为精密制造与科学研究提供了重要技术支持。

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基于白光干涉法的双波段三维形貌测试系统 - 中国仪器仪表学会2010年学术产业大会
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