薄膜微带滤波器的制作工艺与应用 - 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 08:25 | 查看全部阅读模式

会议论文《薄膜微带滤波器的制作工艺与应用》探讨了薄膜微带滤波器在半导体器件中的关键作用。文章详细介绍了其制作工艺，包括材料选择、薄膜沉积和微加工技术，同时分析了其在通信系统中的应用前景。该研究为提升滤波器性能和集成度提供了重要参考，对推动微纳电子技术发展具有积极意义。

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