紫外激光微加工玻璃微通道工艺技术 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-10 08:01 | 查看全部 阅读模式

会议论文《紫外激光微加工玻璃微通道工艺技术》发表于第十三届全国敏感元件与传感器学术会议。文章探讨了利用紫外激光对玻璃材料进行微加工的技术方法,重点研究了微通道的加工工艺参数及其对结构精度的影响。该技术在微流控器件和传感器领域具有广泛应用前景,为高精度微结构制造提供了新思路。

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紫外激光微加工玻璃微通道工艺技术 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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