吸气剂对氢、氩中杂质脱除机理及应用 - 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 03:27 | 查看全部阅读模式

会议论文《吸气剂对氢、氩中杂质脱除机理及应用》探讨了吸气剂在去除氢和氩气体中杂质方面的原理与实际应用。研究分析了吸气剂与杂质气体的反应机制，评估了其在半导体制造中的有效性。该文为提高气体纯度、保障器件性能提供了理论依据和技术支持，对推动半导体产业发展具有重要意义。

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