会议论文《晶体硅太阳能电池PECVD工艺研究》发表于第十一届中国光伏大会暨展览会,探讨了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在晶体硅太阳能电池中的应用。文章分析了工艺参数对薄膜性能的影响,提出了优化方案以提高电池效率和稳定性。该研究对推动光伏技术发展具有重要意义。
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