会议论文《ATO薄膜太阳能电池电极的磁控溅射沉积及其光电转换性能研究》介绍了采用磁控溅射技术制备ATO薄膜作为太阳能电池电极的方法。通过优化工艺参数，研究了薄膜的结构与光电性能之间的关系。实验结果表明，所制备的ATO薄膜具有良好的导电性和透光性，显著提升了太阳能电池的光电转换效率。该研究为新型高效太阳能电池的开发提供了理论支持和技术参考。
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