论文《半导体故障分析红外显微镜的设计》介绍了用于半导体故障检测的红外显微镜系统设计。该系统通过红外成像技术，实现对半导体器件内部缺陷和故障的非破坏性检测。文章详细阐述了系统的结构、工作原理及关键技术，为半导体可靠性分析提供了有效工具，具有重要的工程应用价值。
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