基于全流程优化的亚表面缺陷控制技术研究 - 第10届全国光电技术学术交流会.pdf

论文《基于全流程优化的亚表面缺陷控制技术研究》发表于第10届全国光电技术学术交流会，主要探讨了亚表面缺陷的控制方法。文章通过全流程优化策略，提出了一套有效的缺陷减少方案，提升了材料质量与器件性能。研究对光电领域中的精密制造具有重要指导意义。

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