论文《3000V 4H-SiC基结势垒肖特基二极管的研制》介绍了基于4H-SiC材料的高电压肖特基二极管的研究成果。通过优化结构设计和工艺流程,实现了器件在3000V电压下的稳定工作。该研究为高压功率电子器件提供了新的解决方案,具有重要的应用价值。
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