孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究 - 2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议.pdf

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2026-1-6 18:00 | 查看全部 阅读模式

论文《孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究》探讨了利用孪生磁控溅射技术制备氮化铬(CrN)涂层的工艺与性能。研究通过优化溅射参数,如气压、功率和基底温度,获得了具有高硬度和良好结合力的CrN涂层。结果表明,该方法能有效提高涂层的致密性和均匀性,适用于高温和耐磨环境。论文为氮化铬涂层的制备提供了新的思路和技术支持。

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孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究 - 2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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