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论文《利用表面失稳测量微纳米薄膜厚度的力学原理》探讨了通过分析材料表面失稳现象来测量微纳米薄膜厚度的力学方法。该研究结合材料力学与表面物理理论，提出了一种新型的无损检测技术，具有高精度和非破坏性的特点。文章在学术会议上进行了展示，为微电子和精密制造领域提供了重要的理论支持和技术参考。 文档为pdf格式，0.23MB，总共3页。
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- 利用表面失稳测量微纳米薄膜厚度的力学原理 - 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨 ...
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