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论文《基于SOI的电容式微加速度计机电一体化模型》介绍了采用SOI（绝缘体上硅）技术设计的电容式微加速度计的机电一体化模型。通过建立精确的力学与电学耦合模型，分析了加速度计在不同工作条件下的性能表现。研究为提高微加速度计的灵敏度和稳定性提供了理论支持，对微机电系统（MEMS）的设计与优化具有重要意义。 文档为pdf格式，0.52MB，总共4页。
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- 基于SOI的电容式微加速度计机电一体化模型 - 第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf ...
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