GBT 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片

300mm硅单晶抛光片
300mmpolishedmonocrystallinesiliconwafers

摘要:本标准规定了直径300mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直径300mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm技术需求的衬底片。

标准编号：GB/T29506-2013
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2013年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2014年1月1日
关键词：硅,晶体,晶体学,SILICON,SILICONE,CRYSTALS,CRYSTALLOGRAPHY

GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片.pdf

GBT 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片.pdf

文件大小:

337.69 KB

高速下载