基于高精度采样和控制系统的扫描电子显微镜高压高稳定电源

文档名：基于高精度采样和控制系统的扫描电子显微镜高压高稳定电源
摘要：针对扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscopy,SEM)高分辨率和全天候工作的严格要求,提出并研制了具备高稳定度以及绝缘性能优良的200kV高稳定性高压直流电源.实验表明该系统能达到3.42‰的开关纹波和2.45‰的工频纹波,每小时的长期稳定性达到0.093‰～0.158‰,能够满足SEM对纹波和稳定性的要求.

Abstract：Aimingatthestrictrequirementsofscanningelectronmicroscope(SEM)high-resolutionandall-weatherwork,a200kVhigh-stabilityhigh-voltageDCpowersupplywithhighstabilityandexcellentinsulationperformancewasproposedanddevel-oped.Experimentsshowthatthesystemcanachieveaswitchingrippleof3.42‰andapowerfrequencyrippleof2.45‰,andthelong-termstabilityperhourcanreach0.093‰～0.158‰,whichcanmeettherequirementsofSEMforrippleandstability.

作者：顾立波  梁昊Author：GuLibo  LiangHao
作者单位：中国科学技术大学核探测与核电子学国家重点实验室,安徽合肥230026;中国科学技术大学近代物理系,安徽合肥230026
刊名：电子技术应用
Journal：ApplicationofElectronicTechnique
年，卷(期)：2024, 50(4)
分类号：TN86
关键词：高压直流电源  Sigma-DeltaADC  高精度分压器  
Keywords：high-voltageDCpowersupply  sigma-deltaADC  high-precisionvoltagedivider  
机标分类号：TN957.52TP29TM452.93
在线出版日期：2024年4月26日
基金项目：基于高精度采样和控制系统的扫描电子显微镜高压高稳定电源[
期刊论文]  电子技术应用--2024, 50(4)顾立波  梁昊针对扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscopy,SEM)高分辨率和全天候工作的严格要求,提出并研制了具备高稳定度以及绝缘性能优良的200kV高稳定性高压直流电源.实验表明该系统能达到3.42‰的开关纹波和2.45‰的工频纹...参考文献和引证文献
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