基台脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响 - 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议.pdf

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2026-1-12 12:32 | 查看全部阅读模式

会议论文《基台脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响》探讨了在类金刚石薄膜制备过程中，基台脉冲负偏压对薄膜结构及性能的影响。研究通过实验分析了不同偏压参数下薄膜的微观结构、硬度及摩擦学性能，为优化薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持。

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