MS303晶片电阻率测试系统的校准方法及不确定度的分析 - 第二十二届中国(天津)2008IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议.pdf

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2026-1-12 07:49 | 查看全部阅读模式

会议论文《MS303晶片电阻率测试系统的校准方法及不确定度的分析》探讨了MS303晶片电阻率测试系统在实际应用中的校准流程与误差来源。文章详细分析了测试过程中可能引入的不确定度因素，并提出了相应的评估方法，以提高测量精度和可靠性。该研究对半导体制造领域中的质量控制具有重要参考价值。

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