会议论文《Fabrication and measurement of high-g MEMS accelerometer》介绍了高g值MEMS加速度计的制作与测量方法。该研究针对高过载环境下的应用需求，提出了一种新型结构设计与工艺流程，提高了加速度计的灵敏度与可靠性。通过实验测试，验证了其在极端条件下的性能表现，为相关领域的工程应用提供了理论支持和技术参考。
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