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AlGaN_InGaN异质结中一种新缺陷的TEM表征 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 07:17 | 查看全部阅读模式

会议论文《AlGaN_InGaN异质结中一种新缺陷的TEM表征》介绍了通过透射电子显微镜（TEM）对AlGaN/InGaN异质结中新型缺陷的观察与分析。该研究揭示了界面处存在的特殊缺陷结构，为理解器件性能退化机制提供了重要依据，对提升氮化物半导体器件质量具有重要意义。

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AlGaN_InGaN异质结中一种新缺陷的TEM表征 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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器件, 一种, 表征, 化合物, 微波

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