100型MEVVA源离子注入机 - 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议.pdf

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2026-1-12 06:57 | 查看全部阅读模式

会议论文《100型MEVVA源离子注入机》介绍了新型离子注入设备的研制与应用。该设备采用MEVVA（多电荷能级真空弧）技术，具有高电流、高能量和良好稳定性等优点。论文详细阐述了其结构设计、工作原理及在半导体加工中的实际应用效果，为高能束加工技术提供了重要参考。

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