电容薄膜规倾斜角度影响的研究 - 2009北京真空学会真空技术交流会.pdf

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2026-1-11 20:37 | 查看全部 阅读模式

会议论文《电容薄膜规倾斜角度影响的研究》发表于2009年北京真空学会真空技术交流会。该文研究了电容薄膜规在不同倾斜角度下的测量性能变化,分析了倾斜角度对传感器输出信号的影响,提出了优化安装角度的建议,以提高测量精度和稳定性,对真空计量技术具有重要参考价值。

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电容薄膜规倾斜角度影响的研究 - 2009北京真空学会真空技术交流会
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