电感耦合式等离子清洗系统及其在洁净真空中的应用 - 中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会.pdf

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2026-1-11 20:36 | 查看全部阅读模式

会议论文《电感耦合式等离子清洗系统及其在洁净真空中的应用》介绍了电感耦合等离子体技术在清洗领域的应用。该系统具有高效、均匀的清洗能力，适用于高真空环境下的精密器件清洁。文章探讨了其在微波管制造中的重要性，为提升器件性能和可靠性提供了技术支持。

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