微米級玻璃結構壓印成形製程之線上形狀量測與誤差評估 - 2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会.pdf

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2026-1-11 17:33 | 查看全部 阅读模式

会议论文《微米級玻璃結構壓印成形製程之線上形狀量測與誤差評估》探討了微米級玻璃結構壓印成形過程中的線上形狀量測技術與誤差評估方法。該研究針對壓印製程中可能產生的幾何誤差進行分析,並提出相應的量測與控制策略,以提升製造精度與產品良率。此論文於2009年海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨會發表,對於微電子與光學元件製造領域具有重要參考價值。

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微米級玻璃結構壓印成形製程之線上形狀量測與誤差評估 - 2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
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