会议论文《应用于CIGS太阳能电池窗口层的透明导电氧化物AZO薄膜的制备与研究》介绍了采用磁控溅射法制备AZO薄膜的过程及其性能研究。该研究针对CIGS太阳能电池的窗口层材料进行优化,探讨了AZO薄膜的光学、电学特性及工艺参数的影响。结果表明,通过调控溅射功率和基底温度,可获得高透光率和低电阻率的AZO薄膜,为高效CIGS太阳能电池的开发提供了技术支持。
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